WWU-Nanowissenschaftler erhalten spezielles Forschungsgerät
Veröffentlicht: Donnerstag, 02.04.2020 16:10
Wissenschaftlerinnen und Wissenschaftler aus unterschiedlichen Disziplinen arbeiten aktuell gemeinsam an der Westfälischen Wilhelms-Universität Münster (WWU) an der Erforschung und Entwicklung von Nanosystemen. Für ihre Forschung steht ihnen jetzt ein spezielles Arbeitsgerät zur Verfügung.
Es ist das Ionenstrahllithografie-System „VELION“, das von der Deutschen Forschungsgemeinschaft und dem Land Nordrhein-Westfalen mit 840.000 Euro gefördert wird. Nanosystemen sind Strukturen, die tausendmal kleiner sind, als der Durchmesser eines Haares. Die Wissenschaftler profitieren dabei von einer Kooperation mit der Dortmunder Firma Raith, die das Instrument entwickelt und hergestellt hat, und deren Mitarbeiter nun mit den WWU-Forschern am weiteren Ausbau des Systems arbeiten.
Äußerlich handelt es sich bei dem Gerät im Erdgeschoss des Center for Soft Nanoscience (SoN) der WWU um einen grauen Kasten von der Größe zweier Kleiderschränke – im Inneren passiert allerdings eine ganze Menge. Das Herzstück des Geräts besteht aus einem fokussierten Ionenstrahl und einem Rasterelektronenmikroskop. Mit dem Ionenstrahl können Strukturen in dünne Schichten „geschrieben“ werden, zum Beispiel, um Schaltkreise auf Chips herzustellen.
Die Besonderheit des Geräts ist eine spezielle Ionenquelle mit geladenen Gold- und Siliziumatomen. Mit dem Gerät können die Wissenschaftler jetzt das Material präziser strukturieren, großflächigere Strukturen erzeugen und damit zum Beispiel ganze Wafer, also Halbleiter-Scheiben, vollschreiben. Dabei ist es möglich, viele kleine Punkte nebeneinander anzuordnen und miteinander zu verbinden. Das Mikroskop tastet dabei die Oberfläche der Materialien ab und nimmt hochauflösende Bilder der molekularen Strukturen auf, um den Prozess zu kontrollieren. Diese Art von Aufbau ist bisher deutschlandweit einmalig.
